반도체 공정의 특수가스는 독성·자연발화성이 강하고 실린더를 사람이 직접 갈아 끼우는 작업이라, 절차 하나만 빠져도 누출로 이어진다. 정의: 실린더는 일반적으로 0.3 ∼ 0.7 m 정도의 내경을 가진 고압가스용기로 내용량이 0.5톤 미만의 수직형 용기를 말하고, 고압가스는 20 ℃, 200 kPa 이상의 압력 하에서 용기에 충전되어 있는 가스 또는 냉동액화가스 형태로 충전된 가스를 말한다. 가스 공급실 관리: 가스 공급실 내의 온도는 23±2 ℃, 상대습도는 50±10 %를 유지하여 작업 시 발생할 수 있는 정전기에 의한 스파크를 방지하여야 한다. 비상시를 대비하여 충분한 보호구를 구비하고 모든 근로자는 사용법을 숙지하며, 실린더를 교체할 때에는 전용공구를 사용한다. 실린더 교체작업 절차서는 위험성평가를 통해 도출된 위험요인과 안전대책을 충분히 반영하여 작성하고 교체작업은 반드시 정해진 절차서를 준수하여 수행한다. 교체 절차: 실린더 교체 시에는 메인밸브(Main valve) 교체상태, 가스 이름, 모니터 상태, 가스킷(Gasket) 상태를 확인하고 가스 캐비닛의 내부 청소를 실시한 후에 교체한다. 가스 보관소에서 가스 공급실과 작업장 내로 반입되는 실린더는 교체작업 전에 반드시 질소 및 와이퍼로 클리닝을 실시하여 이물질 유입을 방지하고, 작업장 내로 반입되는 실린더는 외부를 깨끗하게 청소한 후 장착한다. 가스 실린더를 운반할 때에는 지정된 대차를 사용하고 안전고리를 체결한 상태로 이동한다. 실린더를 교체하기 전에 이전에 사용했던 실린더 내부의 가스가 완전히 제거되었는지 확인하고, 공병 탈착 시 상태를 확인하고 정해진 작업순서에 의해 탈착한 후 지정된 대차를 이용하여 운반한다. 실병을 가스 공급설비에 장착한 후에는 가스 실린더의 밸브 보호캡 및 밸브 풀림방지용 비닐을 제거하고, 실린더 모니터 부위를 확인한 뒤 와이퍼로 먼지·수분·유분 등의 오염물을 제거한다. 새로운 실린더를 장착할 때에는 가스 누설방지를 위해 새 가스킷을 와이퍼로 닦은 후 사용하되 가스킷은 1회 사용 후 폐기하는 것을 원칙으로 한다. 점검 실시 중 이상이 발생한 경우에는 반드시 이상발생을 조치완료한 후에 재점검을 실시하고 점검 중 불필요한 설비조작은 절대 금한다.
이 규정은 권고이나 가스등의 용기(산안규칙 제234조), 폭발 또는 화재 등의 예방(제232조), 정전기로 인한 화재·폭발 등 방지(제325조)는 법정 의무이며 위반 시 산업안전보건법 제168조에 따라 5년 이하의 징역 또는 5천만원 이하의 벌금.