반도체 팹은 배기 덕트를 타고 불이 번지는 특성이 있어 감지와 스프링클러 기준이 따로 있다. 연속가스 감지시스템은 시료 채취를 중단 없이 수행하며 분석은 30분을 초과하지 않는 간격으로 주기 수행이 허용된다. 가스 감지시스템은 허용 폭로 한계(PEL) 이하 또는 감지기 한계치에서 실내·지역·설비를 감지할 수 있어야 하고, 인화성 가스는 연소하한(LFL)의 20%를 초과하는 농도를 모니터링 감지 한계 수준으로 한다. 감지 시 지역 경보를 개시하고 비상통제소에 신호를 전달하며 육안과 음성으로 경보하고 음성 경보는 다른 모든 경보와 구분되어야 한다. 비상통제소는 제조 지역 외부의 승인된 부지에 위치하고 교육된 사원이 연속적으로 관리한다. 보건 위험등급 3 또는 4를 가지는 위험물질 가스·액체의 공급 배관과 튜브는 모두 용접하고, 가스는 환기 시스템으로, 액체는 배수와 격리가 가능하게 한다. 가연성·자연발화 가스 또는 인화성 액체가 사용되는 작업장의 1.524m(5ft) 이내 전기 설비와 장치는 0종 또는 1종 장소에 적합해야 하며, 작업장은 적당한 배출 환기시스템 없이 전류를 통해서는 안 된다. 스프링클러 헤드는 가연성 구조의 작업장 공간 내에 설치하되 덕트 연결로부터 0.6m(2ft) 이상에 위치해서는 안 되고 부식 우려 장소에서는 부식 저항 물질로 피복하고 주기 검사를 한다. 위험물질 압축가스를 포함하는 가스 캐비닛·밀폐시설, 출구 접근 복도, 위험물질에서 생성된 가스·증기·흄·미스트·먼지를 운반하는 배기 덕트에는 자동 스프링클러를 설치한다. 연소성 비금속 배기 덕트는 가장 큰 단면 직경이 0.254m(10inch) 이상일 때 스프링클러를 설치한다(천장 아래 길이 3.658m(12ft) 이하 덕트 등은 예외). 배기 덕트 자동 스프링클러는 190㎤/m(1.9L/m)을 제공하도록 설계하고 최소 배출은 수력으로 5개 원격 스프링클러에서 스프링클러당 760㎤/min(76L/min)이며, 수평 덕트에서 3.658m(12ft) 간격으로 상부에 설치한다. 방화 장벽을 관통하는 배기 덕트는 동등한 화재 저항 구조여야 하고 배기 덕트는 방화벽을 관통해서는 안 되며 소방 댐퍼를 배기 덕트에 설치해서는 안 된다. 제조 지역의 위험물질은 승인된 저장 캐비닛·가스 캐비닛·밀폐시설에 저장한다.
이 지침은 권고이나 폭발 또는 화재 등의 예방(산안규칙 제232조), 폭발위험장소에서 사용하는 전기 기계·기구의 선정(제311조), 내화기준(제290조)은 법정 의무이며 위반 시 산업안전보건법 제168조에 따라 5년 이하의 징역 또는 5천만원 이하의 벌금.