반도체·전자 청정실에서 정전기는 제품 불량뿐 아니라 착화원이 된다. 인체 정전기: 인체는 바닥재·신발·의류·운동 정도·이동 속도·습도에 따라 다르지만 일반적으로 작업 중에는 쉽게 1 kV 이상으로 대전된다. 인체는 정전기적으로 도체이므로 정전기 방지의 기본은 접지이며, 발생량이 작아 인체의 접지에는 10^6∼10^8Ω 정도의 정전 신발, 손목 접지대로 충분하다. 다만 바닥이 절연물이면 효과를 기대할 수 없으므로 바닥도 전기 저항이 작은 도전성 바닥이어야 하고, 청정실 안에서 사용 가능한 바닥재의 저항 값은 10^9∼10^11Ω이 적당하다. 정전기 신발의 바닥은 도전성 고무로 되어 있어 재해 장해 방지 매트 위에서의 작업에서는 정전기 전위가 10∼20 V이다. 작업복: 작업복이 대전하면 결과적으로 인체의 정전기와 등가가 되며, 상대 습도가 50 % 이하의 건조한 환경에서는 작업복이 대전되기 쉬우므로 정전기 방지 작업복 착용이 필수적이다(작업복은 발진성이 없어야 한다). 습도: 상대 습도를 높이면 정전기 전위가 낮아지는데 상대 습도를 80∼100 %로 하면 상당한 효과가 있지만 작업 환경으로는 비현실적이고, 임시 저장고처럼 제전 시간이 오래 걸려도 되는 경우에는 60∼80 %의 상대 습도에서도 상당한 효과를 기대할 수 있다. 정전기 방지제를 절연 물체 표면에 도포하거나 상대 습도를 65 % 이상으로 하면 효과가 현저하다. 기류: 청정실 내의 기류는 일반적으로 0.1∼0.5 m/s 정도의 미풍속이다.
이 지침은 권고이나 정전기로 인한 화재 폭발 등 방지(산안규칙 제325조), 보호구의 지급 등(제32조)은 법정 의무이며 위반 시 산업안전보건법 제168조에 따라 5년 이하의 징역 또는 5천만원 이하의 벌금.