설비의 각 기기가 어떤 형태로 고장 나며 그 고장이 공정에 어떤 영향을 주는지 하나씩 따져 보는 기법이다. 결과 기록지에는 날짜, 페이지, 공장, 시스템, FMEA팀, 팀 리더와 함께 번호, 기기명, 기기 설명, 고장형태, 고장영향, 현재 안전조치, 개선권고 사항, 후속조치, 후속조치의 우선순위를 적는다. 고장에 의한 인적·물적 손실이 중대한 것으로 판단되는 경우에는 반드시 개선권고사항에 대한 후속조치를 하여야 한다. 예를 들어 정상폐쇄밸브에서 가능한 고장형태를 열거하는 식으로 기기별 고장형태를 빠짐없이 나열한 뒤 각각의 영향을 평가한다.
이 지침 자체는 권고이나, 위험성평가 실시는 산업안전보건법 제36조의 의무이다